Lösungen von Ruland: Lamellenkupplungen von Ruland für die Halbleiterund Solarzellenfertigung
Anlagen für die Halbleiter- und Solarzellenfertigung wie Wafer Handler, Wafer Bonder und Siebdruckanlagen erfordern häufig schnelle und kurz getaktete Bewegungsabläufe, um Paneele, Wafer oder Chips präzise zu positionieren. Lamellenkupplungen von Ruland verfügen über eine hohe Drehsteifigkeit, sind spielfrei sowie konstruktiv gewuchtet und deshalb für solch hochpräzise Systeme mit Drehzahlen bis zu 10 000 U/min die ideale Wahl.
Lamellenkupplungen, auch Scheibenkupplungen genannt, bestehen aus zwei eloxierten Aluminiumnaben für ein geringes Massenträgheitsmoment und mehreren flachen Federscheiben (Lamellen) aus Edelstahl, die große Wellenverlagerungen zulassen und dennoch eine hohe Steifigkeit bei Torsionsbelastungen aufweisen. Die Federscheiben sind sehr dünn und zeigen bei jeder Versatzart eine ideale Biegefähigkeit, wodurch die Lagerbelastungen sehr niedrig sind.
Lamellenkupplungen von Ruland sind für einen vibrationsarmen Einsatz konstruktiv gewuchtet und können so auch bei hohen Drehzahlen von bis zu 10 000 U/min eingesetzt werden. In Solar- und Halbleiterfertigungssystemen ist dies von entscheidender Bedeutung, da hier häufig Teile positioniert werden müssen, die höchst sensibel auf jegliche Vibration reagieren. Lamellenkupplungen in Einfachgelenkausführung eignen sich für Systeme, die kompakte Einbaumaße erfordern. Die Kupplungen in Doppelgelenkversion verfügen über ein Zwischenstück, um Verlagerungen noch besser auszugleichen. Das Zwischenstück besteht entweder aus eloxiertem Aluminium oder kann elektrisch isolierend aus Acetal ausgeführt werden. Parallelverlagerungen können durch die Doppelgelenkversion raumsparend ausgeglichen werden.
Ruland stellt Lamellenkupplungen mit oder ohne Passfedernut in zölligen und metrischen Abmessungen von 3 mm bis 32 mm her. Kombinationen aus zölligen und metrischen Abmessungen sind möglich. Alle Schrauben besitzen metrische Maße und übertreffen die Vorgaben industrieller Standards, um höchsten Drehmomentansprüchen zu genügen. Ruland bietet Naben und Zwischenstücke aus Edelstahl an, auf Anfrage sind auch kundenspezifische Ausführungen erhältlich.